无尘室工程净化公司，专业的无尘室公司、无尘车间工程、无尘室工程、洁净室工程、净化工程、百级无尘室、洁净棚设计及安装的企业，很值得信赖

控制AMC的过滤器。

　　近年来尤其是近2～3年来，对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展;

　　A.不释放AMC物质的HEPA/ULPA;

　　a.低硼超细玻璃纤维过滤器，现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多;

　　b.多孔聚四氟乙稀(ePTFE)过滤器，为薄膜结构，价格比a要高出十倍左右。目前使用尚不多，正在开发下一代的。

　　B.化学过滤器

　　目前已推出的化学过滤器主要是：

　　a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等;亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，价格尚较高;还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。

　　b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒(如活性炭、活性铝，但主要是活性炭)以吸附AMC物质。

　　至今，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线(德国一条、美国一条、我国台湾二条)开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上。